微量水分测定仪也叫露点仪是为了要获得高品质的产品或设备正常地运转，微量水分测定仪能直测出露点温度的仪器。露点可以简单地了解为使气体中水蒸汽含量到达饱和形态的温度，是表示气体湿度的方式之一。使一个镜面处在样品湿空气中降温，直到镜面上隐现露滴（或冰晶）的瞬间，测出镜面平均温度，即为露（霜）点温度。它测湿精度高，但需光洁度很高的镜面，精度很高的温控系统，以及灵敏度很高的露滴（冰晶）的光学探测系统。露点仪运用时必需使吸入样本空气的管道维持清洁，否则管道内的杂质将吸收或放出水分形成测量误差。

微量水分测定仪冷镜法电解法就是将干燥剂吸取的水分经电解池电解成氢气和氧气排出，电解电流的大小与水分含量成正比，经过检测该电流即可测得样气的湿度。该办法补救了分量法的缺点，测量量程可达-80℃以下，且精度较好，价钱便宜；缺点是电解池气路需要在运用前干燥很长时间，且对气体的侵蚀性及清洁性要求较高。

微量水分测定仪振动频率法就是将重量法中的干燥剂换用一种吸湿性的石英晶体，依据该晶体吸取水分品质不同时振动频率不同的特点，让样气和标准干燥气流经该晶体，因此发生不同的振动频率差△f1和△f2，计算两频率之差即可获得样气的湿度。该露点仪振动频率法具备电解法一样的优点，且运用前勿须干燥。

微量水分测定仪冷镜法也是一种经典的测量办法。让样气流经露点冷镜室的冷凝镜，经过等压抑冷，使得样气到达饱和结露形态（冷凝镜上有液滴析出），测量冷凝镜此时的温度即是样气的露点。露点仪冷镜法的主优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃；缺点是呼应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平均时间甚至达几个小时，而且此办法对样气的清洁性和侵蚀性要求也较高，否则会影响光电检测效果或发生‘伪结露’形成测量误差。

微量水分测定仪为了要获得高品质的产品或设施正常地运转，许多行业诸如石化、电力、电子、航空航天、冶金、纺织等对湿度测量的要求越来越高，因此，湿度测量已逐步成为一个新兴的技术范围。依据无关规程，湿度被定义为气体中的水蒸气含量，经用单位有：克/升，PPM，mmHg，露点及相dui湿度等。习惯上以露点-20℃为界把所测气体分为高湿度气体与低湿度气体。